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1/100µµ Á¤¹ÐÇ׿ Á¦¾î Àåºñ | ||||
ÀϹݻçÇ× ¡¡ |
¼³Ä¡Àå¼Ò |
½Ç ³» ¿ë |
ÀÛµ¿Àü¿ø |
220VAC | |
ÁÖÀ§¿Âµµ |
»ó¿Â |
¼ÒºñÀü·Â |
100W | ||
ÁÖÀ§½Àµµ |
40% ~ 80% |
¿ÂµµÁ¦¾î |
PID Á¦¾î | ||
Á¦¾î´ë»ó |
Interferometer |
Å©±â ¹× Áß·® |
Çϱâ»çÇ× ÂüÁ¶ | ||
ǰ¸ñ |
Cold-Chuck Plate |
Temp. Controller | |||
Çü½Ä |
ÀÛµ¿Àü¿ø |
DC 12V |
ÀÛµ¿Àü¿ø |
220VAC | |
¼ÒºñÀü·Â |
50W |
¼ÒºñÀü·Â |
50W | ||
Áß·® |
1kg ¹Ì¸¸ |
Áß·® |
5kg ¹Ì¸¸ | ||
Å©±â |
[W]120 x [D]160 x [H]50 mm |
Å©±â |
[W]430 x [D]480 x [H]180 mm | ||
³Ã°¢¹æ½Ä |
T.E. Module |
Á¦¾î ±â¹ý |
PID Á¦¾î | ||
³Ã°¢´É·Â |
10W |
Á¦¾î´ë»ó |
Ceramic Board | ||
È÷Å͹æ½Ä |
T.E. Module |
Á¦¾î¹üÀ§ |
20¡É ~ 27¡É | ||
È÷ÅÍ´É·Â |
40W |
Á¦¾îÁ¤µµ |
¡¾0.1¡É | ||
Interface |
RS485, RS232 |
|
|